Pokročilé laserové procesy výroby polovodičových desek

Číslo projektu: CZ.01.01.01/01/24_063/0006908

Cílem projektu je výzkumu a vývoj nových laserových procesů pro polovodičové technologie - konkrétně pro procesy s deskami karbidu křemíku (SiC), a nových metodik charakterizace. Laserové procesy a technologie jsou slibnými alternativami k současným mechanickým a chemickým metodám zpracování SiC. Mohou tak poskytnout cestu k významnému snížení výrobních nákladů, spotřeby procesních materiálů a dopadu na životní prostředí. Nové laserové procesy pro polovodičové technologie na karbidu křemíku pak vyžadují také nové postupy v oblasti charakterizace parametrů polovodičových desek a výrobních procesů.