Laserové mikroobrábění laserem Pharos

• Opakovací frekvence: 1 Hz – 200 kHz
• Délka pulsu: 250 fs – 10 ps
• Maximální výkon: 3 W
• Maximální energie v pulsu: 1 mJ
• Vlnová délka: 1030 nm
• Průměr svazku (1/e2): 5 mm
• M2: < 1.2
• Dostupné harmonické frekvence:
  • 515 nm (~ 0.5 mJ @ 2 kHz);
  • 343 nm (~ 0.25 mJ @ 2kHz);
  • 257 nm (~ 0.1 mJ @ 2kHz).

Stanice zahrnuje možnosti skenování:

Galvo skener (Scanlab SCANcube III):

• Provoz s 1030 nebo 515 nm;
• Skenovací rychlost: ≤ 2 m/s;
• Přesnost skenování: ~1 μm;
• Oblast zpracování 10×10

Mikro-obráběcí systém:

• xyz-skenování;
• Skenovací rychlost: ≤ 1 m/s;
• Minimální krok: < 150 nm;
• Oblast zpracování: 11×11 cm.