- Opakovací frekvence: 1 Hz – 200 kHz
- Délka pulsu: 250 fs – 10 ps
- Maximální výkon: 3 W
- Maximální energie v pulsu: 1 mJ
- Vlnová délka: 1030 nm
- Průměr svazku (1/e2): 5 mm
- M2: < 1.2
- Dostupné harmonické frekvence:
- 515 nm (~ 0.5 mJ @ 2 kHz);
- 343 nm (~ 0.25 mJ @ 2kHz);
- 257 nm (~ 0.1 mJ @ 2kHz).
Stanice zahrnuje možnosti skenování:
Galvo skener (Scanlab SCANcube III):
- Provoz s 1030 nebo 515 nm;
- Skenovací rychlost: ≤ 2 m/s;
- Přesnost skenování: ~1 μm;
- Oblast zpracování 10×10
Mikro-obráběcí systém:
- xyz-skenování;
- Skenovací rychlost: ≤ 1 m/s;
- Minimální krok: < 150 nm;
- Oblast zpracování: 11×11 cm.
