Laserové mikroobrábění laserem Pharos

Stanice vybavená laserem Pharos zahrnuje možnosti skenování:

Galvo skener (Scanlab SCANcube III):

• Vlnové délky: 1030, 515, 257 nm;
• Skenovací rychlost: ≤ 2 m/s;
• Přesnost skenování: ~1 μm;
• Oblast zpracování: 10×10 cm (1030, 515 nm), 65×65 mm (257 nm).

Mikro-obráběcí systém:

• Vlnové délky: 1030, 515 (, 343) nm;
• Skenování: xyz posuvy;
• Skenovací rychlost: ≤ 0.1 m/s;
• Minimální krok: 150 nm;
• Oblast zpracování: 10×10 cm;
• Max hmotnost vzorku: 20 kg.